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辐射敏感性树脂组合物

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610160484.1
  • IPC分类号:G03F7/008;G03F7/20;G03F7/30
  • 申请日期:
    2006-11-28
  • 申请人:
    住友化学株式会社
著录项信息
专利名称辐射敏感性树脂组合物
申请号CN200610160484.1申请日期2006-11-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-06-06公开/公告号CN1975574
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/008IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;0;8;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;7;/;3;0查看分类表>
申请人住友化学株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人住友化学株式会社当前权利人住友化学株式会社
发明人中野由子
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人孙秀武;赵苏林
摘要
一种辐射敏感树脂组合物,其包含碱可溶性固化性树脂(A)、醌二叠氮化合物(B)、含有鎓阳离子和选自式(1)给出的阴离子和式(2)给出的阴离子的阴离子的阳离子聚合引发剂(C),和溶剂(H),其中R1-R3、R11和R33各自独立地代表具有1-20个碳原子的直链全氟烷基、具有3-20个碳原子的支链全氟烷基、具有3-20个碳原子的环状全氟烷基、或具有6-20个碳原子的全氟芳基,基团-O-、-N(R)-、或-SO2-中的任一个可插入上述每个基团的碳原子之间(R代表氢原子或具有1-4个碳原子的烷基),R11和R33或R1-R3中的任意两个可结合形成环结构并且一个或两个环结构可形成杂环。

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