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基板处理装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010143420.7
  • IPC分类号:G03F7/16;H01L21/677
  • 申请日期:
    2010-03-17
  • 申请人:
    住友精密工业株式会社
著录项信息
专利名称基板处理装置
申请号CN201010143420.7申请日期2010-03-17
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2010-09-22公开/公告号CN101840156A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/16IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人住友精密工业株式会社申请人地址
日本兵库县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人住友精密工业株式会社当前权利人住友精密工业株式会社
发明人菅长大辅;松元俊二
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人张宝荣
摘要
本发明提供一种基板处理装置,能够防止在基板传送用辊的温度上升时该辊的旋转轴变形。该基板处理装置包括:夹持基板而进行传送的下辊、第一上辊及第二上辊;保持各辊而使各辊旋转自如的辊保持机构;朝向所传送的基板的上表面喷出流体的流体喷出机构;对流体喷出机构供给流体的流体供给机构。辊保持机构包括:在基板的两外侧隔开一定间隔相对向的第一架台及第二架台,该第一架台保持下辊的一端而使该一端旋转自如,该第二架台保持下辊的另一端,而使该另一端旋转自如且在轴线方向上能够位移;第一保持构件,其由第一架台支承,并保持第一上辊而使第一上辊旋转自如;第二保持构件,其由第二架台支承,并保持第二上辊而使第二上辊旋转自如。

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