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用于镍/磷合金的CMP配方

发明专利无效专利

申请号：
CN03804461.7
IPC分类号：C09G1/02;C09K3/14
申请日期：
2003-02-18
申请人：
圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于镍/磷合金的CMP配方
申请号	CN03804461.7	申请日期	2003-02-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-07-13	公开/公告号	CN1639288
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09G1/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09G 虫胶清漆除外的抛光组合物；滑雪屐蜡 C09G1/00 抛光组合物（虫胶清漆入C09F 11/00；洗涤剂入C11D） C09G1/02 含有磨料或研磨剂	IPC分类号	C;0;9;G;1;/;0;2;;;C;0;9;K;3;/;1;4查看分类表>
申请人	圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司	当前权利人	圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
发明人	D·E·沃德;D·P·索罗莫斯
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	张宜红

摘要

用于镍/磷合金表面的CMP配方，包含磨粒和氧化剂，对氧化剂活性的缓剂和螯合到被除去的物质且含有膦酸酯和氨或胺基的第一和第二促进剂，以及任选的有机羧酸。

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