加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

用来产生极紫外辐射的极紫外光源

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201910687175.7
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2019-07-29
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称用来产生极紫外辐射的极紫外光源
申请号CN201910687175.7申请日期2019-07-29
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2020-05-08公开/公告号CN111123655A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人杨基;陈鑫封;陈立锐
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
一种用来产生极紫外辐射的极紫外光源,包含液滴收集桶。液滴收集桶包含液滴收集管、设置在液滴收集管上的准位感测器、配置以关闭液滴收集管的背面部的闸阀、配置以供给气体至液滴收集管的背面部中的气体供给、包覆液滴收集管的加热元件、以及连接液滴收集管的内部与金属液滴收集桶的外部的排放管。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供