一种电容式微机械加速度计

发明专利无效专利

申请号：
CN200610011959.0
IPC分类号：G01P15/125
申请日期：
2006-05-23
申请人：
北京航空航天大学

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著录项信息

专利名称	一种电容式微机械加速度计
申请号	CN200610011959.0	申请日期	2006-05-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-11	公开/公告号	CN1844935
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人	北京航空航天大学	申请人地址	北京市海淀区学院路37号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京航空航天大学	当前权利人	北京航空航天大学
发明人	樊尚春;任杰
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	刘秀娟;成金玉

摘要

电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型。质量块中间含有两部分：一部分是弹性支撑，由两组折叠梁构成；另一部分是驱动电极和检测电极，以梳齿偏置结构构成差动电容。本发明能够在元件有限体积下实现较大的质量块，使加速度高效转化为惯性力，设计的弹性支撑结构和梳齿偏置式的静电驱动、电容检测提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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