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互补式金属氧化物半导体元件及其形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200610074027.0
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2006-04-04
  • 申请人:
    联华电子股份有限公司
著录项信息
专利名称互补式金属氧化物半导体元件及其形成方法
申请号CN200610074027.0申请日期2006-04-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2007-10-10公开/公告号CN101051624
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人联华电子股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人联华电子股份有限公司当前权利人联华电子股份有限公司
发明人孙世伟;邹世芳;廖俊雄;周珮玉
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波;侯宇
摘要
一种互补式金属氧化物半导体元件,其包括衬底、第一型金属氧化物半导体晶体管、第二型金属氧化物半导体晶体管、第一应力层、第一衬层、第二应力层与第二衬层。其中,衬底具有第一有源区与第二有源区,且第一有源区与第二有源区之间以隔离结构区隔。另外,第一型金属氧化物半导体晶体管配置于衬底的第一有源区,第二型金属氧化物半导体晶体管配置于衬底的第二有源区。第一应力层顺应性地配置于第一有源区的第一型金属氧化物半导体晶体管上。第一衬层顺应性地配置于第一应力层上。第二应力层顺应性地配置于第二有源区的第二型金属氧化物半导体晶体管上。第二衬层顺应性地配置于该第二应力层上。

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