芯片拾取装置及其制造方法以及半导体制造装置发明专利
申请号：CN03103138.2
LOC分类号:H01L21/50
IPC结构图谱：
- B作业；运输
- B2成型
- B25手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
- B25J机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕
- B25J19/00与机械手配合的附属装置，例如用于监控、用于观察；与机械手组合的安全装置或专门适用于与机械手结合使用的安全装置（一般安全装置入F16P；一般防辐射装置入G21F）
- B25J19/06安全装置〔4〕
