具有相移功能的三维电子散斑干涉仪

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200320109179.1
IPC分类号：--
申请日期：
2003-10-24
申请人：
中国船舶重工集团公司第七一一研究所

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著录项信息

专利名称	具有相移功能的三维电子散斑干涉仪
申请号	CN200320109179.1	申请日期	2003-10-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国船舶重工集团公司第七一一研究所	申请人地址	上海市南江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国船舶重工集团公司第七一一研究所	当前权利人	中国船舶重工集团公司第七一一研究所
发明人	张熹;吴君毅;夏远富;陆鹏;李利平
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	潘帼萍

摘要

本实用新型涉及一种具有相移功能的三维电子散斑干涉仪，包括三绿激光器及其W、U、V场光路；其特点是：所述的W光路包括：激光器、全反射镜、扩束镜、分光器件；分光器件将一扩束光反射至被测物上，另一扩束光照射在漫反射器件上；分光器件d侧依次设置成像装置与摄像头，摄像头将拍摄的信息送至计算机；与漫反射器件光连接的是一受计算机控制的相移器；所述的U、V场光路包括：激光器与分光棱镜；分光棱镜将一路光经三个全反射镜送至扩束镜，由全反射镜射向被测物，另一路光经两个全反射镜送至扩束镜，由全反射镜射向被测物；被测物相对位置依次设置成像装置与摄像头，摄像头将拍摄的信息送至计算机；全反射镜另侧设置受计算机控制的相移器。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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