多晶硅太阳电池制绒浓度流量循环计装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201520191536.6
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/67
申请日期：
2015-03-31
申请人：
中建材浚鑫科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	多晶硅太阳电池制绒浓度流量循环计装置
申请号	CN201520191536.6	申请日期	2015-03-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	中建材浚鑫科技股份有限公司	申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中建材浚鑫科技股份有限公司	当前权利人	中建材浚鑫科技股份有限公司
发明人	袁嗣强
代理机构	苏州中合知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李中华

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅太阳电池制绒浓度流量循环计装置，包括浓度流量循环计、外围配液区、循环泵、药液灌、冷却系统和制绒槽；所述外围配液区将氢氟酸、硝酸和纯水配好后分别通过管道注入浓度流量循环计中，浓度流量循环计再通过管道分别与外围配液区联通形成循环系统；所述浓度流量循环计通过循环泵与药液槽连接；所述药液槽经冷却系统与制绒槽连接，所述制绒槽连接到药液槽。本专利通过监控药液的浓度，自动循环填充药液，使得药液更均匀，药液浓度始终达到一个设定的值，无论在开机生产和生产过程中都能有效的控制并稳定硅片刻蚀厚度、反射率和表面黑线；提高电池片的转换效率和稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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