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一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120266650.2
  • IPC分类号:B08B3/02;B08B3/08;F26B3/06;F26B21/00
  • 申请日期:
    2011-07-26
  • 申请人:
    北京德高洁清洁设备有限公司
著录项信息
专利名称一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统
申请号CN201120266650.2申请日期2011-07-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/02IPC分类号B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;F;2;6;B;3;/;0;6;;;F;2;6;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人北京德高洁清洁设备有限公司申请人地址
北京市东城区北三环东路37号华世隆B三层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京德高洁清洁设备有限公司当前权利人北京德高洁清洁设备有限公司
发明人李毅光;戴德雷;孙以群;艾海均;李俊召;王晓英;李中华;李勇光
代理机构北京中恒高博知识产权代理有限公司代理人姜万林
摘要
钟罩又称炉筒,本实用新型为一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统,包括:电气控制系统,高压热水动力装置:内含高压泵及阀组、进水加热器;清洗剂箱;内部含有清洗剂;清洗烘干工作台:放置待清洗工件;洗灌装置:设置于工作台上,与清洗剂箱通过管道相连,由高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力,对钟罩表面及工作台表面进行水力冲洗;净化热风烘干装置:烘干排除余留在钟罩内部的和工作台表面的液体和湿气;洗灌装置为三维喷洒喷头:使用水力自驱动式,对钟罩表面形成360度球形网状喷射。本实用新型可大大改善清洗烘干作业环境。通过PLC及触摸屏控制,可实现钟罩的全自动清洗烘干,与人工清洗烘干比大量节约人力资源。

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