一种用于相位偏折测量的透明元件前后表面相位分离方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910594573.4
IPC分类号：G01B11/25;G06T7/64
申请日期：
2019-07-03
申请人：
复旦大学

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著录项信息

专利名称	一种用于相位偏折测量的透明元件前后表面相位分离方法
申请号	CN201910594573.4	申请日期	2019-07-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-05	公开/公告号	CN110411376A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/25 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率 G01B11/25 通过在物体上投影一个图形，例如莫尔（moiré）条纹（G01B 11/255优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;5;;;G;0;6;T;7;/;6;4查看分类表>
申请人	复旦大学	申请人地址	上海市杨浦区邯郸路220号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	复旦大学	当前权利人	复旦大学
发明人	张祥朝;叶俊强;牛振岐;王伟;徐敏
代理机构	上海科盛知识产权代理有限公司	代理人	杨宏泰

摘要

本发明涉及一种用于相位偏折测量的透明元件前后表面相位分离方法，包括以下步骤：1)构建测量系统，将待测透明元件平放在转台上，使屏幕和待测透明元件与水平面之间的夹角呈45°，相机和待测透明元件与水平面之间的夹角呈60°；2)通过微调相机和屏幕的角度，获取屏幕上的条纹经待测透明元件前后表面反射成的混合图像；3)确定混合图像中前后表面的光强分布；4)改变投影图像频率，将投影正弦条纹图的零相位级次设在边缘，依次改变条纹密度为原来的k倍，采用相机分别采集接收到的图样，并通过构建方程迭代求解获得前后表面的相位值的真值。与现有技术相比，本发明具有精度高、适用性广等优点。

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