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一种多光谱硫化锌窗口的退火设备和工艺

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911131745.0
  • IPC分类号:C23C16/56;C23C16/30
  • 申请日期:
    2019-11-19
  • 申请人:
    有研国晶辉新材料有限公司
著录项信息
专利名称一种多光谱硫化锌窗口的退火设备和工艺
申请号CN201911131745.0申请日期2019-11-19
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2020-03-27公开/公告号CN110923676A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/56IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;6;;;C;2;3;C;1;6;/;3;0查看分类表>
申请人有研国晶辉新材料有限公司申请人地址
山东省德州市乐陵市高新技术创业孵化基地 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东有研国晶辉新材料有限公司,有研国晶辉新材料有限公司当前权利人山东有研国晶辉新材料有限公司,有研国晶辉新材料有限公司
发明人李冬旭;蒋立朋;杨海;魏乃光;袁琴;杨建纯;田智睿;郭立
代理机构北京北新智诚知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
一种多光谱硫化锌窗口的退火设备和工艺,退火设备包括退火炉、自动控压系统和温度控制系统;该退火炉设有进气口、出气口;内壁设有保温材料及加热装置,底部设有支撑台,该支撑台顶部设有内胆,形成退火区域;该自动控压系统包括真空泵、真空监测表、线性定位阀门与可编程PID智能调节仪;该温度控制系统包括多个热电偶,热电偶测量端位于该退火区域不同位置,各热电偶的信号输出端分别连接一个温控表的信号输入端,各温控表均与一个上位计算机的信号输入端连接,各温控表的信号输出端均与一个变压器的信号输入端连接,该变压器的控制线与各加热装置连接。本发明可以减弱多光谱硫化锌窗口材料内部残余应力,应用于红外光学材料的生产和科研中。

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