一种渐变菲林掩膜版及渐变色盖板的制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910877390.3
IPC分类号：G03F1/70;G03F7/00
申请日期：
2019-09-17
申请人：
信利光电股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种渐变菲林掩膜版及渐变色盖板的制作方法
申请号	CN201910877390.3	申请日期	2019-09-17
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-17	公开/公告号	CN110579939A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/70 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/16 （转入G03F 1/00-G03F 1/86） G03F1/68 未包含在G03F 1/20至G03F 1/50组中的制备工艺〔2012.01〕 G03F1/70 与平版印刷工艺要求相适应的掩膜的基板布局或设计，例如掩膜图案成像的第二次迭代校正〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;7;0;;;G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	信利光电股份有限公司	申请人地址	广东省汕尾市区工业大道信利工业城一区第15栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信利光电股份有限公司	当前权利人	信利光电股份有限公司
发明人	陆志华;陈健立;林汉良
代理机构	广州粤高专利商标代理有限公司	代理人	李健威

摘要

本发明公开了一种渐变菲林掩膜版的制作方法，包括：步骤101：采用矢量图绘制软件绘制渐变矢量图，并将所述渐变矢量图调制成所需的渐变效果；步骤102：依据所述渐变矢量图的灰度数据，控制激光头对感光菲林进行曝光；步骤103：采用显影液对所述感光菲林进行显影，得到渐变菲林掩膜版。该制作方法制作出的渐变菲林掩膜版具有更加精细的透光孔，可提高渐变色盖板的渐变效果，还能降低设计人员的前期设计工作量。本发明还公开了一种渐变色盖板的制作方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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