一种球面高质量大面积金刚石厚膜的抛光方法及装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200510055285.X
IPC分类号：B23K26/36;B23K26/08
申请日期：
2005-03-18
申请人：
北京工业大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种球面高质量大面积金刚石厚膜的抛光方法及装置
申请号	CN200510055285.X	申请日期	2005-03-18
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2005-08-17	公开/公告号	CN1654158
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/36 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;6;;;B;2;3;K;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人	北京工业大学	申请人地址	北京市朝阳区平乐园100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京工业大学	当前权利人	北京工业大学
发明人	杨胶溪;左铁钏;肖荣诗
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司	代理人	张慧

摘要

本发明属于激光微加工领域。目的在于克服机械抛光、热铁板抛光等方法出现的速率慢、易损伤等缺点。首先进行金刚石膜生长面的抛光，形核面为基准面；将膜用粘结剂固定在能实现三维运动的弧面抛光台上，抛光台的弧面与金刚石的弧面吻合；调整Nd:YAG激光的焦点光斑落在金刚石膜的表面，并调整激光的入射角；摆动轴与弧面圆心重合后，使抛光台旋转和摆动，用Nd:YAG激光进行粗抛光，并适时调整抛光台高度；当测得的平均表面粗糙度Ra介于5～20μm时，改用ArF准分子激光进行精抛光；当生长面表面粗糙度达到5～20nm时，便停止抛光，并取下金刚石膜；重复以上步骤进行形核面的抛光。本发明对金刚石膜的损伤小，抛光过程噪音小，设备结构简单，易操作。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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