一种可调节探针卡装置的对针方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110820454.3
IPC分类号：G01R1/073;G01R31/26
申请日期：
2021-07-20
申请人：
范长旭

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种可调节探针卡装置的对针方法
申请号	CN202110820454.3	申请日期	2021-07-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-21	公开/公告号	CN113419091A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/073 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/06 测量引线；测量探针（G01R 19/145，G01R 19/165优先）〔3〕 G01R1/067 测量探针〔3〕 G01R1/073 多个探针〔3〕	IPC分类号	G;0;1;R;1;/;0;7;3;;;G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	范长旭	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号哈尔滨理工大学西区新主楼E1018测控技术与通信工程学院办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	范长旭	当前权利人	范长旭
发明人	范长旭
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种可调节探针卡装置的对针方法，包括以下步骤：步骤a探针复位；步骤b探针定位；步骤c探针调整；在探针单元阵列的外侧转动移动磁体，移动磁体沿一圆周移动，该圆周的圆心位于探针单元阵列中心，且在移动时移动磁体的一磁极保持指向探针单元阵列中心，探针单元的固定磁体被移动磁体吸引并随之转动，带动探针单元的探针体转动，探针体通过其与探针帽的螺纹连接，使探针单元阵列内的探针下端高度改变，能够实现对探针卡的探针高度方向上进行对针，同时能够用于探针与晶圆接触后，探针高度方向上的调整。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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