一种检测设备及检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911095201.3
IPC分类号：G01N21/88;G01N21/89;G01B11/00;G01B11/06;G01B11/30
申请日期：
2019-11-11
申请人：
深圳中科飞测科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种检测设备及检测方法
申请号	CN201911095201.3	申请日期	2019-11-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-11	公开/公告号	CN112782175A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;1;/;8;9;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;6;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	深圳中科飞测科技股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司	当前权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司
发明人	陈鲁;张龙;黄有为
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	周晓

摘要

本发明公开了一种检测设备及检测方法。检测设备包括第一检测系统和第二检测系统，第一检测系统的照明装置发出的第一检测光在待测物表面形成第一光斑，第一检测系统的第一探测装置用于接收第一检测光经待测物表面形成的第一信号光；第二检测系统的照明装置发出的第二检测光在待测物表面形成第二光斑，第二检测系统的第二探测装置用于接收第二检测光经待测物表面形成的第二信号光；第二光斑的亮度大于第一光斑的亮度。检测方法为：通过第一检测系统对待测物表面进行第一检测处理，获取待测物表面的缺陷的尺寸；当缺陷的尺寸小于或等于预设值时，通过第二检测系统对待测物表面进行第二检测处理。该检测设备及检测方法具有较高的检测效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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