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用于生产镜片的真空镀膜机循环冷却装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020143000.4
  • IPC分类号:C23C14/56;C23C16/54
  • 申请日期:
    2010-03-26
  • 申请人:
    比真光学(上海)有限公司
著录项信息
专利名称用于生产镜片的真空镀膜机循环冷却装置
申请号CN201020143000.4申请日期2010-03-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人比真光学(上海)有限公司申请人地址
上海市奉贤区南桥镇奉金路50号2幢 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人比真光学(上海)有限公司,上海晶睦光学技术有限公司当前权利人比真光学(上海)有限公司,上海晶睦光学技术有限公司
发明人吴国庆
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人胡美强
摘要
本实用新型涉及一种用于生产镜片的真空镀膜机循环冷却装置,包括:冷冻压缩机以及在冷冻压缩机上的储水槽;一部分冷却水从储水槽到冷冻压缩机冷却,冷冻压缩机将冷却水经主水泵到真空镀膜机的两个油扩散泵中;在真空镀膜机中被加热过的冷却水经过两个油扩散泵的出水管回到储水槽;储水槽中的另一部分冷却水则通过副水泵依次打到DP冷冻机和CH冷冻机对冷冻压缩机的高压端和整个镀膜机进行冷却,加热后的冷却水经过出水管流回储水槽;还包括:一个冷却塔;冷却塔连接在储水槽和两个油扩散泵的出水管之间;本实用新型的有益效果是:有效地对镀膜腔进行快速降温,降低油扩散泵的温度,解决了降温效果不理想的问题,缩短了抽真空的时间。

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