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液态硅生产装置及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610938912.2
  • IPC分类号:C01B33/027;C01B33/029;C01B33/03;C01B33/031
  • 申请日期:
    2016-10-25
  • 申请人:
    江苏中能硅业科技发展有限公司
著录项信息
专利名称液态硅生产装置及方法
申请号CN201610938912.2申请日期2016-10-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-05-01公开/公告号CN107973300A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B33/027IPC分类号C;0;1;B;3;3;/;0;2;7;;;C;0;1;B;3;3;/;0;2;9;;;C;0;1;B;3;3;/;0;3;;;C;0;1;B;3;3;/;0;3;1查看分类表>
申请人江苏中能硅业科技发展有限公司申请人地址
江苏省徐州市经济技术开发区协鑫大道66号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏中能硅业科技发展有限公司当前权利人江苏中能硅业科技发展有限公司
发明人江宏富;蒋立民;马军;王荣跃;吕磊;周舟
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)代理人李晓;肖明芳
摘要
本发明公开了一种液态硅生产装置及方法,该装置包括依次连接的等离子发生器、反应器、硅液承载器和尾气分离系统,在反应器内依次存在气体冷凝区、液滴形成区和液滴生长区。该方法是使物料在装置内进行原子态物料‑微小硅液滴‑大的硅液滴‑硅液的转化,对大部分硅物质进行液态收集,只有很少一部分的硅物质形成硅微粉从尾气系统排出。采用本发明,能够直接得到高纯液态硅材料,操作工序简单,且允许液态硅材料直接输送到下游的铸锭工序、直拉单晶工序或者制备硅片等工序,能够极大降低多晶硅生产投资成本,保证生产装置稳定长周期运行,提高产量。

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