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可调节气体分配系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200480020245.5
  • IPC分类号:H01L21/306;C23C16/00;C23C16/455
  • 申请日期:
    2004-05-27
  • 申请人:
    阿维扎技术公司
著录项信息
专利名称可调节气体分配系统
申请号CN200480020245.5申请日期2004-05-27
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2006-09-06公开/公告号CN1830069
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/306
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;;;C;2;3;C;1;6;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人阿维扎技术公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人阿维扎技术公司当前权利人阿维扎技术公司
发明人杰伊·B·德唐特尼;杰克·C·尧
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人葛青;李晓舒
摘要
本发明提供一种气体分配装置(10),它包括多个出口(26)和至少一个放置在至少一个出口中的可更换插入物(30)。该插入物带有一个通道(34),可以改变该至少一个出口的尺寸和/或从该至少一个出口排出的气体的方向。该插入物带有可以基本上为直的和圆柱形的通道。该通道可以具有直径较小的第一部分,和直径较大的第二部分,以便可以有选择地改变该气体分配装置中的出口通道的尺寸。另一种方案是,该插入物带有主要通道和多个从该主要通道分支出来和与该主要通道成一定角度的辅助通道。该主要通道和分支通道之间的角度大约为10度至90度。

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