一种真空镀膜OD在线测厚仪

发明专利有效专利

申请号：
CN202110038479.8
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2021-01-12
申请人：
上海苗威科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种真空镀膜OD在线测厚仪
申请号	CN202110038479.8	申请日期	2021-01-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-18	公开/公告号	CN112815859A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	上海苗威科技有限公司	申请人地址	上海市青浦区赵巷镇沪青平公路3398号1栋3层Q区385室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海苗威科技有限公司	当前权利人	上海苗威科技有限公司
发明人	曹玉霞
代理机构	深圳深瑞知识产权代理有限公司	代理人	刘慧玲

摘要

一种真空镀膜OD在线测厚仪，包括：主机体，其外侧设置有铝合金机架，且铝合金机架的中部开设有用于放置被侧材料的料槽，所述主机体内位于料槽的边侧位置处设置有用于测量被侧材料厚度的测量组件，该测量组件中的单片机可与CCD模块连接，并通过串口与PC端通讯；两组固定支架；其技术要点为，本发明为了克服现有的测量问题，本测厚仪使用测量镜头替代原OD测量探头有效解决了体积的局限，做到了覆盖整个膜宽的测量要求，行内称为面测量；本发明使用到带有撑架组件的盖板，在未使用时可对料槽进行覆盖防护，在展开使用时利用撑架组件可对被测材料进行支撑，方便被测材料在料槽内移动，避免传统被测材料在料槽内晃动，造成测量结果出现误差的情况。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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