著录项信息
专利名称 | 蚀刻栅网的生产工艺 |
申请号 | CN00122349.6 | 申请日期 | 2000-08-23 |
法律状态 | 权利终止 | 申报国家 | 中国 |
公开/公告日 | 2002-03-13 | 公开/公告号 | CN1339722 |
优先权 | 暂无 | 优先权号 | 暂无 |
主分类号 | 暂无 | IPC分类号 | 暂无查看分类表>
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申请人 | 裘华见 | 申请人地址 | 浙江省嵊州市城关镇安吉里12幢201室
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权利人 | 裘华见 | 当前权利人 | 裘华见 |
发明人 | 裘华见 |
代理机构 | 暂无 | 代理人 | 暂无 |
摘要
蚀刻栅网的生产工艺,包括落料、设计、制版、上胶、曝光、显影、固化、蚀刻、去膜等工艺,设计、上胶时根据标称尺寸都留有一定余量,使蚀刻栅网的线径达到0.03毫米以下,用于生产荧光显示屏(VFD)的阴极栅网,生产工艺简单、成品率高、成本低。
1、蚀刻栅网的生产工艺,包括落料、清洗、制网 板、设计、制版、上胶、曝光、显影、固化、蚀刻、去 膜、清洗、检验、包装过程,其特征在于设计过程蚀刻余 量按H=E×T/2计算,式中H为线条单边余量,E为蚀刻因 子,T为板材厚度,上胶时,丝网透墨面积按板材标称尺 寸长宽方向各减小2毫米。
2、根据权利要求1所述的生产工艺,其特征在于板材 上胶后,第一面烘干时,烘道温度为80℃,第二面烘干 时,烘道温度为85℃,烘道长度12米,输送带速率40厘米 /分钟。
3、根据权利要求2所述的生产工艺,其特征在于上胶 过程所用的感光胶为分辨率很高的聚脂感光胶。
本发明涉及一种电子器件的生产工艺。\n用蚀刻方法生产印刷电路板等是一种公知的技术,主 要包括制版、曝光、蚀刻、去膜等工艺过程,但由于其在 设计过程中蚀刻余量留得不足,且在曝光、蚀刻等过程中 没有精确掌握温度、时间等参数,感光胶分辨率低等,致 使其产品线径达不到0.03毫米以下,根本无法生产象荧光 显示屏(VFD)的阴极栅网那样精细的产品。\n本发明的目的在于提供一种蚀刻栅网的生产工艺,能 生产出线径在0.03毫米以下的荧光显示屏(VFD)阴极栅 网。\n蚀刻栅网的生产工艺包括落料、清洗、制网版、设 计、制版、曝光、上胶、显影、固化、蚀刻、去膜、清 洗、检验、包装过程。设计过程蚀刻余量按H=E×T/2计 算,式中H为线条单边余量,E为蚀刻因子,T为带材厚 度。制版采用光绘机制作正负银盐片,由银盐片拷贝正负 重氮片,制版时正负片对位偏移不超过0.005毫米。上胶 采用丝网印刷,用封网胶封往丝网无用面积,透墨面积按 板材标称尺寸长宽方向各减小2毫米,感光胶采用分辨率 很高的聚脂感光胶,每一张板料须放入烘道中烘干。曝光 是将已烘的油墨板在紫外光下曝光,曝光时间3-5秒。显 影采用浓度为3.5-4%的Na2CO3为显影液。固化过程采用 远红外烘道,烘道内温度为170℃,经显影后的产品放入 烘道内传送带烘干。蚀刻采用喷淋蚀刻,FeCl3为蚀刻溶 液,温度保持在45-48℃之间,蚀刻时间为8至10分钟。 去膜采用3.5-4%NaHO,在80℃恒温状态下浸泡1-2分 钟后取出,清洗后放入70-75℃烘道内烘干。采用本生产 工艺,因设计制版环节留有足够余量,曝光、显影环节时 间、温度等控制精确,并增加了显影前预处理过程,使蚀 刻精度达到0.03毫米以下,能生产出荧光显示屏(VFD) 的阴极栅网,成品率高,成本低。\n附图是本发明实施例的工艺流程框图。\n本实施例包括落料、清洗、制网版、设计、制版、上 胶、曝光、显影、固化、蚀刻、去膜、清洗、检验、包装 过程,落料是把带材切割成板材,清水冲洗后待上胶,设 计过程蚀刻余量按H=E×T/2计算,式中H为线条单边余 量,E为蚀刻因子,T为带材厚度。制版采用光绘机制作 正负银盐片,由银盐片拷贝正负重氮片,制版时正负片对 位偏移不超过0.005毫米,用100倍读数显微镜测量。上胶 采用丝网印刷,用封网胶封往丝网无用面积,透墨面积按 板材标称尺寸长宽方向各减小2毫米,烘干后检查是否漏 光,漏光处补封,感光胶为分辨很高的聚脂感光胶,每一 张板料须放入烘道中烘干,第一面烘干时,烘道温度设定 为80℃,第二面烘干时,烘道温度设定为85℃,烘道长度 12米,输送带速率40厘米/分钟。曝光是将已预烘的油墨 板在紫外线曝光机上曝光,显影采用浓度为3.5%Na2CO3溶 液,浸泡2分钟。固化过程采用远红外烘道,烘道内温度 为170℃,经显影后的产品放入烘道内传输带烘干。蚀刻 采用喷淋蚀刻,FeCl3为蚀刻溶液,温度保持在45℃,蚀 刻时间为10分钟,去膜采用35%NaHO在80℃恒温状态下 浸泡2分钟后取出,清水冲洗后放入75℃烘道内烘干,再 经检验、包装后出厂。
法律信息
- 2007-10-24
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
- 2007-07-04
地址不明的通知
<收件人>裘华见<文件名称>专利权终止通知书
- 2004-09-29
- 2002-03-13
- 2001-06-20
引用专利(该专利引用了哪些专利)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 | 该专利没有引用任何外部专利数据! |
被引用专利(该专利被哪些专利引用)
序号 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日 | 申请日 | 专利名称 | 申请人 | 1 | | 2008-04-28 | 2008-04-28 | | |
2 | | 2008-10-13 | 2008-10-13 | | |