带有多轴转动控制的光学反射镜系统

发明专利无效专利

申请号：
CN01810503.3
IPC分类号：--
申请日期：
2001-04-10
申请人：
塞斯彼德公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	带有多轴转动控制的光学反射镜系统
申请号	CN01810503.3	申请日期	2001-04-10
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2003-11-05	公开/公告号	CN1454328
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	塞斯彼德公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	塞斯彼德公司	当前权利人	塞斯彼德公司
发明人	P·M·哈格林;J·J·弗林
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	鲍玲;王刚

摘要

本发明公开了一种带有多轴转动控制的光学反射镜系统。该光学反射镜系统包括一个光学面组件以及至少一个跟该光学面组件相连接的支杆组件。这至少一个支杆组件在基片上方支承该光学面。依本发明提供的系统和方法可以借助许多不同的传动机构工作，包括(但不限于)静电的、热的、压电的、以及磁性的传动机构。依本发明提供的光学反射镜系统可以适应大反射镜和转角的需要。可以采用这样的技术制造扫描反射镜：标准的表面显微机械加工工艺，或深度活性离子蚀刻工艺。依本发明提供的设备满足可直接定标的、高端口计数光开关的要求，这是利用每一光输入/输出端口结构有一个双向回转的反射镜来达到的。依本发明提供的光学反射镜可以(但不限于)在以下一些应用场合使用：光学分插复用器，波长路由器，无间隔光学互连，芯片水平光输入/输出，光扫描显示，光扫描器(条码，微型摄影机)，光存储读写头，激光打印机，医用玻璃代用件(与自适应光学系统配套)，医学诊断设备，保安用光扫描。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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