全桥式双推挽流z轴薄膜陀螺及其加工方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110560712.9
IPC分类号：G01C19/58
申请日期：
2021-05-21
申请人：
北京信息科技大学

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专利名称	全桥式双推挽流z轴薄膜陀螺及其加工方法
申请号	CN202110560712.9	申请日期	2021-05-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-16	公开/公告号	CN113124845A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/58 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/58 不带有运动部件的转动敏感装置〔3〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;8查看分类表>
申请人	北京信息科技大学	申请人地址	北京市海淀区清河小营东路12号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京信息科技大学	当前权利人	北京信息科技大学
发明人	朴林华;李备;王灯山
代理机构	北京邦创至诚知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张宇锋

摘要

本发明公开了一种全桥式双推挽流z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有两对加热器、两对热敏电阻和一根隔离电阻；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用全桥加双推挽式热流，四个电桥桥臂都参加工作，灵敏度是单臂的4倍，是灵敏度最较高的一种，其功耗不大；提取电路为等臂电桥，等臂电桥桥臂电阻变化和电桥输出不平衡电压的关系非线性度最小，陀螺的线性好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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