带有位移检测功能的微执行器

发明专利有效专利

申请号：
CN200380102310.4
IPC分类号：--
申请日期：
2003-11-05
申请人：
松下电器产业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	带有位移检测功能的微执行器
申请号	CN200380102310.4	申请日期	2003-11-05
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2005-12-14	公开/公告号	CN1708449
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	松下电器产业株式会社	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松下电器产业株式会社	当前权利人	松下电器产业株式会社
发明人	虫鹿由浩;苅田吉博
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	汪惠民

摘要

在本发明中，对静电驱动执行器等的可动元件(Ai)赋予驱动信号，使其发生位移的同时，由位移检测部(6)检测其位移，校正部(15)通过自我校正驱动信号和位移之间的关系，对执行器特性随长时间的变化和环境变化进行修正。转换部(7)通过将1个位移检测部和多个可动元件(Ai)选择性地连接，能够削减用于位移检测的电路。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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