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优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711131881.0
  • IPC分类号:H01L31/09;H01L31/18;H01L31/0224
  • 申请日期:
    2017-11-15
  • 申请人:
    上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)
著录项信息
专利名称优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法
申请号CN201711131881.0申请日期2017-11-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-06-08公开/公告号CN108133977A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/09IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;9;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;3;1;/;0;2;2;4查看分类表>
申请人上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)申请人地址
上海市普陀区武宁路423号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)当前权利人上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)
发明人王晓东;王兵兵;陈雨璐;张传胜;张皓星;周德亮;侯丽伟;俞旭辉
代理机构上海汉声知识产权代理有限公司代理人庄文莉
摘要
本发明提供的一种优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法,包括如下步骤:将阻挡杂质带探测器封装至恒温器中;测得不同工作温度下阻挡杂质带探测器的背景电流IBG随正电极偏压U变化的曲线,并确定探测器的击穿电压UBD;获取背景电流IBG随阻挡杂质带探测器的工作温度T变化的曲线IBG(T);测量得到不同工作温度下阻挡杂质带探测器的黑体响应电流IBB随正电极偏压U变化的曲线;获取黑体响应电流IBB随阻挡杂质带探测器工作温度T变化的曲线IBB(T);根据探测器优值因子随探测器工作温度变化的曲线确定最佳工作温度。本发明对制备的阻挡杂质带探测器进行数据采集及数据处理得到最佳工作温度,进而根据优化后的结果设置阻挡杂质带探测器的工作温度,性能将具有最优值。

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