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附树脂脆性材料基板的分割方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110165661.6
  • IPC分类号:B28D1/24
  • 申请日期:
    2011-06-14
  • 申请人:
    三星钻石工业股份有限公司
著录项信息
专利名称附树脂脆性材料基板的分割方法
申请号CN201110165661.6申请日期2011-06-14
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-04-18公开/公告号CN102416672A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B28D1/24IPC分类号B;2;8;D;1;/;2;4查看分类表>
申请人三星钻石工业股份有限公司申请人地址
日本大阪 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星钻石工业股份有限公司当前权利人三星钻石工业股份有限公司
发明人武田真和;村上健二;桥本多市
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人孟锐
摘要
本发明提供一种可靠性较高、且尺寸精度提高的附树脂脆性材料基板的分割方法。该分割方法是将在脆性材料基板的一主面上附着有树脂而成的附树脂脆性材料基板以垂直于主面的方式进行分割,其包括:槽部形成工序,在附树脂脆性材料基板的树脂侧的分割预定位置形成槽部;划线形成工序,在脆性材料基板侧的分割预定位置形成划线;及断裂工序,沿着划线来分割所述附树脂脆性材料基板(例如,对在脆性材料基板的主面上且相对于分割预定位置而对称的2个位置、及树脂侧的主面且划线的延长线上的位置,用特定的施力构件施力,以此分割附树脂脆性材料基板的断裂工序)。

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