一种超精密检测用平台

发明专利有效专利

申请号：
CN201810116275.X
IPC分类号：G01B11/00;G01B11/30
申请日期：
2018-02-06
申请人：
杨锦堂

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种超精密检测用平台
申请号	CN201810116275.X	申请日期	2018-02-06
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2018-07-13	公开/公告号	CN108278971A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	杨锦堂	申请人地址	山东省青岛市市南区香港西路77号裕源大厦B-815 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杨锦堂	当前权利人	杨锦堂
发明人	杨锦堂;邓凯
代理机构	青岛中天汇智知识产权代理有限公司	代理人	万桂斌

摘要

本发明涉及超精密检测技术领域，具体涉及一种超精密检测用平台，包括上下对应设置的固定平台和滑动平台，以及设置在两者之间的滑动机构，所述滑动机构包括滑轨和滑块，所述滑轨与固定平台刚性连接，所述滑块与滑动平台刚性连接，滑块沿滑轨滑动，其特征在于，所述固定平台和滑动平台之间还设置有弱传递机构，所述弱传递机构为滑动平台传递，动力驱动装置提供的运动方向的驱动力，并减少为滑动平台提供非运动方向的驱动力，以限制固定平台与滑动平台之间沿非运动方向的相对位移。本发明的超精密检测用平台，能够有效减少或者避免滑动平台沿垂直于滑动平台方向上的跳动，进而提高滑动平台运动的稳定性，从而能够实现对被测零件的精确测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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