一种反射式无指示光栅光学测量装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020558211.8
IPC分类号：G01B11/00;G01B11/02
申请日期：
2020-04-15
申请人：
广东光栅数显技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种反射式无指示光栅光学测量装置
申请号	CN202020558211.8	申请日期	2020-04-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	广东光栅数显技术有限公司	申请人地址	广东省东莞市长安镇沙头社区合兴路84号E座变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东光栅数显技术有限公司	当前权利人	广东光栅数显技术有限公司
发明人	甘天才
代理机构	广东腾锐律师事务所	代理人	陈培华;莫锡斌

摘要

本实用新型公开了一种反射式无指示光栅光学测量装置，包括光源、反射主光栅和接收器，光源、接收器设置在反射主光栅的同一侧，光源产生入射光线照射到反射主光栅上形成反射光线，接收器设置在反射光线的光路上反射主光栅上至少有3N+1根平行间隔排列的矩形光栅刻线，接收器上设有用于光电信号转换的硅光晶片，硅光晶片上设有4M+1块平行间隔排列的矩形光刻栅片；光栅刻线的宽度、相邻两光栅刻线的栅距、光刻栅片的宽度均为W，相邻两光刻栅片的栅距为W/2，N、M均为自然数。本实用新型的反射式无指示光栅光学测量装置具有测量准确性好、测量精度高和产品一致性好的特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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