一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821017010.6
IPC分类号：C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00
申请日期：
2018-06-15
申请人：
哈尔滨工业大学深圳研究生院

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专利名称	一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统
申请号	CN201821017010.6	申请日期	2018-06-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/46 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/46 蚀刻组合物的再生〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;4;6;;;C;2;5;C;1;/;1;2;;;C;2;5;C;7;/;0;0查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学深圳研究生院	申请人地址	广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈工大校区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学深圳研究生院	当前权利人	哈尔滨工业大学深圳研究生院
发明人	李朝林;罗海健;周明明
代理机构	北京维正专利代理有限公司	代理人	任志龙

摘要

本实用新型公开了一种H2SO4/S2O82‑微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统，解决了常见微蚀刻废液回收金属铜后依然有硫酸盐废液排出的问题，包括第一电解槽、蚀刻机微蚀刻液储槽、调节装置和冷却装置，所述第一电解槽内设有将第一电解槽分隔为阳极室和阴极室的离子交换膜，所述阳极室内设有供微蚀刻废液中的硫酸根离子发生电化学氧化反应的阳极件，所述阴极室设有供微蚀刻废液中的铜离子发生电化学还原反应的阴极件，所述阳极件和阴极件之间连接有第一电源，所述阳极室还连通有储存有阳极液的阳极液储槽，所述阴极室内经过电化学除铜后的微蚀刻废液导入所述阳极液储槽内，达到实现金属铜回收及微蚀刻液同步再生的目的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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