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一种正型感光性树脂组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN201910592170.6
IPC分类号：G03F7/039;G03F7/004
申请日期：
2019-07-03
申请人：
北京波米科技有限公司;波米科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种正型感光性树脂组合物
申请号	CN201910592170.6	申请日期	2019-07-03
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-10-15	公开/公告号	CN110333647A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/039 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/039 可光降解的高分子化合物，例如，正电子抗蚀剂（G03F 7/075优先；高分子苯醌重氮化合物入G03F 7/023）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;3;9;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4查看分类表>
申请人	北京波米科技有限公司;波米科技有限公司	申请人地址	北京市海淀区中关村东路18号1号楼6层A-711 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京波米科技有限公司,波米科技有限公司	当前权利人	北京波米科技有限公司,波米科技有限公司
发明人	李铭新;张昊;张义腾;陈存浩;王珂;公聪聪
代理机构	济南泉城专利商标事务所	代理人	贾波

摘要

本发明公开了一种正型感光性树脂组合物，该组合物同过硅烷偶联剂的选择，在热固化后与基板具有优异的粘合性，并且在室温下储存2周后，所述正型感光性树脂组合物的各项评价指标均保持稳定，具有优异的储存稳定性，克服了现有正型感光性树脂组合物粘合性或稳定性不足的缺陷。

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