一种用于芯片生产的抛光设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202110153175.6
IPC分类号：B24B29/02;B24B57/00
申请日期：
2021-02-04
申请人：
肇庆市小凡人科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于芯片生产的抛光设备
申请号	CN202110153175.6	申请日期	2021-02-04
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-25	公开/公告号	CN113021161A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B29/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B29/00 有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置（使用砂带磨削或抛光入B24B 21/00）〔4〕 B24B29/02 适用于特殊工件的〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;2;9;/;0;2;;;B;2;4;B;5;7;/;0;0查看分类表>
申请人	肇庆市小凡人科技有限公司	申请人地址	广东省肇庆市高新区创业服务中心大楼第五层5A218室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	肇庆市小凡人科技有限公司	当前权利人	肇庆市小凡人科技有限公司
发明人	李志聪
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种用于芯片生产的抛光设备，包括工作台、顶板、抛光装置、基座和两个固定杆，还包括清理机构和收集机构，收集机构包括收集盒、转轴、弹性布、第一电机、第一轴承、支管、抽气组件、两个移动组件、两个排液管、两个排液组件、若干滤网和若干辅助组件，清理机构包括第二电机、转杆、转盘、驱动绳、清理板和两个导向组件，该用于芯片生产的抛光设备通过收集机构，实现了回收抛光液的功能，避免抛光液的浪费，从而提高了设备的环保性，通过清理机构，实现了清理工作台的功能，使得碎屑不会残留在工作台上，避免造成晶圆放置在工作台上时不平稳的现象，从而防止晶圆在处于倾斜的状态下进行抛光工作，从而避免对抛光的质量造成影响。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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