消除或分离由偏振光泄漏导致的误差光束的偏振干涉计

发明专利有效专利

申请号：
CN200580016631.1
IPC分类号：G01B9/02
申请日期：
2005-05-11
申请人：
瑞尼斯豪公司

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著录项信息

专利名称	消除或分离由偏振光泄漏导致的误差光束的偏振干涉计
申请号	CN200580016631.1	申请日期	2005-05-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-05-02	公开/公告号	CN1957225
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	瑞尼斯豪公司	申请人地址	英国格洛斯特郡变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	瑞尼斯豪公司	当前权利人	瑞尼斯豪公司
发明人	威廉·欧内斯特·李
代理机构	北京明和龙知识产权代理有限公司	代理人	郁玉成

摘要

一种偏振双通干涉计包括偏振分光器(16)，参考光束(14)的光路中的参考反射镜(20)，以及在测量光束(12)的光路中的移动的测量反射镜(26)。该参考和测量光束具有不同的偏振方向。成角度的光束偏射装置，诸如玻璃楔或棱镜(32)起到消除或分离出误差光束(30)的作用，该误差光束是由一个偏振方向的光泄漏到另一个偏振方向的光中引起的。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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