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掩模装置及其操作方法、蒸镀装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810503894.4
IPC分类号：C23C14/04;H01L51/50;H01L51/56
申请日期：
2018-05-23
申请人：
京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	掩模装置及其操作方法、蒸镀装置
申请号	CN201810503894.4	申请日期	2018-05-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-09-18	公开/公告号	CN108546915A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;H;0;1;L;5;1;/;5;0;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
发明人	申少雄
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	彭久云

摘要

一种掩模装置及其操作方法、蒸镀装置，该掩模装置包括掩模板和至少一个可转动块。掩模板在第一方向上具有彼此相对的第一侧边和第二侧边,可转动块设置在掩模板的第一侧边和第二侧边的至少一个侧边且能够与掩模板的板面相接触。可转动块可在垂直于掩模板板面的平面内旋转并与掩模板的板面产生摩擦，从而使得掩模板的边缘部分受到远离掩模板中心方向的摩擦力。

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