太阳能电池激光标刻设备

发明专利有效专利

申请号：
CN200710072812.7
IPC分类号：H01L31/20;B23K26/00;G05B19/04
申请日期：
2007-01-08
申请人：
李毅

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专利名称	太阳能电池激光标刻设备
申请号	CN200710072812.7	申请日期	2007-01-08
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2008-07-16	公开/公告号	CN101222001
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/20 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕 H01L31/20 包含非晶半导体材料的器件及器件的部件〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;2;0;;;B;2;3;K;2;6;/;0;0;;;G;0;5;B;1;9;/;0;4查看分类表>
申请人	李毅	申请人地址	广东省深圳市福田区八卦四路先科机电大厦534室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	李毅	当前权利人	李毅
发明人	李毅;李全相
代理机构	深圳市毅颖专利商标事务所	代理人	张艺影;李奕晖

摘要

本发明涉及用激光标刻太阳能电池的设备，属于非晶硅薄膜太阳能电池加工领域。本发明以提高太阳能电池的标刻速度和精度为目的。技术特征在于由计算机程序控制X-Y轴精密电控平移工作台和激光振镜扫描系统分时工作。当X-Y平移时，固定在Z轴轨道上的激光振镜扫描停止。激光振镜扫描系统的反射镜由振镜电机控制其偏转角度，而振镜电机的偏转是由计算机通过D/A卡来控制，使聚光斑按照计算机设定的图性、文字、及直线轨迹运行。其效果，高速大幅面标刻非晶硅薄膜太阳能电池，最大线速度400m/min，复杂图形。机械平台重量及运行速度不会影响微小标刻路径的精度，生产效率高，成本低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN200998940Y	暂无	2007-01-08	太阳能电池激光标刻装置失效专利	李毅
2	CN1789006A	2006-06-21	2005-10-12	激光转写设备及使用该设备制造有机发光显示器的方法有效专利	三星SDI株式会社
3	CN1799753A	2006-07-12	2006-01-04	激光束加工机有效专利	株式会社迪斯科

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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