用于微机电开关的贵金属接触

发明专利无效专利

申请号：
CN200480019233.0
IPC分类号：H01H59/00
申请日期：
2004-06-02
申请人：
国际商业机器公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于微机电开关的贵金属接触
申请号	CN200480019233.0	申请日期	2004-06-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-08-09	公开/公告号	CN1816890
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01H59/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01H 电开关；继电器；选择器；紧急保护装置（接触电缆入H01B7/10；电解式自断续器入H01G9/18；紧急保护电路装置入H02H；无触点电子开关入H03K17/00） H01H59/00 静电继电器；电附着继电器	IPC分类号	H;0;1;H;5;9;/;0;0查看分类表>
申请人	国际商业机器公司	申请人地址	开曼群岛大开曼岛变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	格芯公司	当前权利人	格芯公司
发明人	H·德利吉安尼;P·安德里查科斯;P·布赫瓦尔特;J·科特;C·雅内斯;M·克里希南;J·梅格莱因;K·施泰因;R·沃朗特;J·托尔内洛;J·伦德
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	于静;李峥

摘要

本发明描述了一种具有贵金属接触的半导体微机电系统(MEMS)开关，贵金属接触用作铜电极的氧阻挡层。该MEMS开关完全集成在CMOS半导体制造线中。该集成技术、材料和工艺与铜芯片金属化工艺完全兼容以及典型地是低成本和低温工艺(低于400℃)。该MEMS开关包括：空腔内的可移动梁，所述可移动梁在其一端或两端固定到所述空腔的壁；嵌入所述可移动梁的第一电极；以及在所述空腔的壁中并面对所述第一电极的第二电极，其中所述第一和第二电极分别被贵金属接触覆盖。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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