一种晶圆背面磨床的磨削吸盘

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022647290.2
IPC分类号：B24B41/06
申请日期：
2020-11-16
申请人：
天通日进精密技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种晶圆背面磨床的磨削吸盘
申请号	CN202022647290.2	申请日期	2020-11-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B41/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B41/00 磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的 B24B41/06 工件支架，如可调中心架（B24B 37/27优先）〔1，2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;4;1;/;0;6查看分类表>
申请人	天通日进精密技术有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天通日进精密技术有限公司	当前权利人	天通日进精密技术有限公司
发明人	陆吴强;王佳鑫;王涛;徐海刚;贾泓超
代理机构	嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙）	代理人	金亚丁

摘要

本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的磨削吸盘，所述磨削吸盘包括吸盘主体以及调节吸管体，所述吸盘主体上端面处设置有若干个吸气孔组，若干个所述吸气孔组以吸盘主体的轴线为中心线环形阵列设置，所述吸气孔组包括至少两个吸气孔体，所述吸气孔体不贯穿所述吸盘主体，所述吸盘主体侧曲面上均匀的设置有若干个插孔，所述插孔与吸气孔体相连通，所述调节吸管体插入设置在插孔内，所述调节吸管体内部中空，所述调节吸管体的侧曲面上沿其轴线方向的均匀设置有若干个通气孔组，每个所述通气孔组均包括不同数量的通气孔体，所述通气孔体与吸气孔体相配合。本实用新型适配不同规格的晶圆，提高了装配以及生产效率，保证了产品质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供