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单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法

发明专利无效专利

申请号：
CN95119376.7
IPC分类号：--
申请日期：
1995-12-12
申请人：
吉林大学

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法
申请号	CN95119376.7	申请日期	1995-12-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1996-10-02	公开/公告号	CN1132267
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	吉林大学	申请人地址	吉林省长春市解放大路123号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吉林大学	当前权利人	吉林大学
发明人	顾长志;金曾孙
代理机构	吉林大学专利事务所	代理人	王恩远

摘要

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