用于检测圆柱体外表面的光学干涉仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201310585580.0
IPC分类号：G01B9/02;G01B11/24
申请日期：
2013-11-19
申请人：
苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于检测圆柱体外表面的光学干涉仪
申请号	CN201310585580.0	申请日期	2013-11-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-05	公开/公告号	CN103615971A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号B519 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州慧利仪器有限责任公司,韩森,李雪园	当前权利人	苏州慧利仪器有限责任公司,韩森,李雪园
发明人	韩森;李雪园
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	马明渡;王健

摘要

本发明公开一种用于检测柱体外表面的光学干涉仪，聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合；所述分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间，用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶位于准直凸透镜与分束镜相背的一侧，该标准平晶与准直凸透镜相背的表面为标准平面；位于环形斜面反射镜中央的环形反射斜面沿其周向且位于内侧，所述待检测所述圆柱位于环形斜面反射镜内，且环形斜面反射镜的旋转轴与圆柱与标准平晶各自的轴线重合，所述环形斜面反射镜的环形反射斜面与圆柱的外表面面对面放置。本发明实现了一次性获得立体柱体外表面形貌信息，同时也大大提高了测试效率、精度和可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供