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一种铝及其合金蚀刻速度控制方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310642872.3
IPC分类号：C23F1/36;C23F1/46
申请日期：
2013-12-05
申请人：
成都飞机工业（集团）有限责任公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种铝及其合金蚀刻速度控制方法
申请号	CN201310642872.3	申请日期	2013-12-05
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-26	公开/公告号	CN103668211A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/36 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/10 蚀刻用组合物（C23F 1/44优先）〔4〕 C23F1/14 含水组合物〔4〕 C23F1/32 碱性组合物（C23F 1/42优先）〔4〕 C23F1/36 蚀刻铝或铝合金用的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;3;6;;;C;2;3;F;1;/;4;6查看分类表>
申请人	成都飞机工业（集团）有限责任公司	申请人地址	四川省成都市青羊区西郊黄田坝变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都飞机工业（集团）有限责任公司	当前权利人	成都飞机工业（集团）有限责任公司
发明人	魏立安;周国华;尹茂生;曹慧兰;胡润霞
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明利用NaAlO2在适量水的条件下，结晶析出Al(OH)3，从而使蚀刻液中铝离子控制在工艺范围内(铝离子浓度35-65g／L)，一方面确保铝及其合金蚀刻速度稳定，另一方面延长蚀刻液使用寿命5倍以上。

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