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一种多设备间配合偏差的检测系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201820872388.8
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2018-06-06
  • 申请人:
    广东工业大学
著录项信息
专利名称一种多设备间配合偏差的检测系统
申请号CN201820872388.8申请日期2018-06-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人广东工业大学申请人地址
广东省广州市越秀区东风东路729号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东工业大学当前权利人广东工业大学
发明人贺云波;叶文涛;陈新;高健;杨志军;陈桪;崔成强;张凯;陈云;汤晖;张昌;何作雄
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人罗满
摘要
本实用新型公开一种多设备间配合偏差的检测系统,包括安装于晶圆工作台的激光发射器和安装于机器人夹持端的误差显示器,误差显示器上设置有基准点,基准点与机器人夹持端的中心重合。本实用新型提供的检测系统,在晶圆工作台上可拆卸地设置有激光发射器,同时在晶圆搬运机器人机械手位置可替换地设置有误差显示器,应用时将激光发射器和误差显示器分别安装到晶圆工作台和搬运机器人上,激光发射器的光斑至误差显示器上,误差显示器显示激光点位置,可进一步调整搬运机器人和晶圆工作台相对位置的误差,保证了晶圆在晶圆工作台上的位置精准。

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