一种半导体批量测试系统

发明专利有效专利

申请号：
CN202110440869.8
IPC分类号：G01R31/26
申请日期：
2021-04-23
申请人：
深圳市时代速信科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种半导体批量测试系统
申请号	CN202110440869.8	申请日期	2021-04-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113219314A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	深圳市时代速信科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市时代速信科技有限公司	当前权利人	深圳市时代速信科技有限公司
发明人	林楹镇
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	郭浩辉;颜希文

摘要

本发明公开了一种半导体批量测试系统，该系统包括：测试板以及直流特性测试装置；所述测试板包括：若干用于放置待检测半导体器件的老化座子以及与所述直流特性测试装置连接的金手指；每一所述老化座子内设置有若干用于为待测试半导体器件提供电压的金属触点；所述直流特性测试装置包括金手指插槽；所述直流特性测试装置通过所述金手指插槽与所述测试板的金手指连接；所述直流特性测试装置，用于根据预设的测试参数对各老化座子上的待检测半导体器件进行直流测试。通过实施本发明能够对半导体器件进行批量测试，提高测试效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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