一种大束径离子源及屏栅

实用新型无效专利

申请号：
CN201621022540.0
IPC分类号：H01J37/09
申请日期：
2016-08-31
申请人：
北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种大束径离子源及屏栅
申请号	CN201621022540.0	申请日期	2016-08-31
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/09 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/09 光阑；与电子或离子光学装置相联的屏蔽；干扰场的补偿〔3〕	IPC分类号	H01J37/09查看分类表>
申请人	北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司	申请人地址	北京市丰台区小屯路1*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司	当前权利人	北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
发明人	刁克明
代理机构	北京格允知识产权代理有限公司	代理人	周娇娇;谭辉

摘要

本实用新型涉及一种大束径离子源，包括气体电离装置、离子光学系统和中和装置，其中气体电离装置用于产生等离子体，离子光学系统用于从等离子体中抽取离子束并加速，中和装置用于向离子束发射电子生成中性离子束；该大束径离子源的发射口径为100～200mm；所述离子光学系统包括在同一中心线上轴向间隔设置的屏栅和加速栅，该屏栅中部设有带栅孔的栅孔区，栅孔区的栅孔孔径沿径向方向从栅孔区圆心向外逐渐增大。本实用新型的大束径离子源，通过设计变孔径屏栅，使屏栅孔径与屏栅抽取的等离子浓度分布相匹配，进而通过不同的孔径抽取相同的束流密度，达到改善束流均匀度的目的，可产生束流宽、方向性强的离子束，且有效束径及均匀度大，束流稳定性强。

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发明授权

一种大束径离子源及屏栅

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