一种压电单晶驱动器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011567974.X
IPC分类号：H01L41/083;H01L41/09;H01L41/277
申请日期：
2020-12-25
申请人：
西安交通大学

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著录项信息

专利名称	一种压电单晶驱动器及其制备方法
申请号	CN202011567974.X	申请日期	2020-12-25
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-05-11	公开/公告号	CN112786776A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/083 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/083 和H01L 41/087优先于H01L 41/09至H01L 41/113各组。〔6〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;0;8;3;;;H;0;1;L;4;1;/;0;9;;;H;0;1;L;4;1;/;2;7;7查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市咸宁西路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	王三红;徐卓
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	贺小停

摘要

本发明提供的一种压电单晶驱动器及其制备方法，包括压电单晶堆，压电单晶堆包括多个单晶片，多个单晶片(101)沿其厚度方向堆叠，且多个单晶片(101)之间电路并联连接；所述单晶片(101)的厚度方向为<011>方向、长度方向为<100>方向、宽度方向选取<0‑11>方向；本发明在三维定向下的单晶片，其横向压电系数为2000pC/N以上，使得其在驱动电压相同情况下，其层数少，输出形变大、工作频率高等特点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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