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片材纵置运输小车及气相沉积设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921332346.6
  • IPC分类号:C23C16/458;C23C14/50
  • 申请日期:
    2019-08-16
  • 申请人:
    星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
著录项信息
专利名称片材纵置运输小车及气相沉积设备
申请号CN201921332346.6申请日期2019-08-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区星华产业园5号楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司当前权利人星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
发明人钱涛;钱政羽;吴其涛
代理机构南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人陆明耀;顾祥安
摘要
本实用新型揭示了片材纵置运输小车及气相沉积设备,其中运输小车包括高窄且纵置易倾倒的车主体,车主体上设置有至少一组限位块和锁扣,一组限位块和锁扣与车主体配合形成一可纵向放置片材并将片材限位于车主体上的空间;车主体纵置于一排导向滚轮上且由导向滚轮驱动移动,一排导向滚轮可转动地设置于轮座上且连接驱动它们自转的动力机构,车主体通过磁力吸附保持摆正状态。本方案通过高窄的车体结构以及磁力吸附保持小车的摆正状态,既能够减少设备腔体的水平空间,又能够充分缩短阀门的开闭时间及打开宽度,从而可以有效的提高加工效率及避免不同腔体之间的气体交换,还可以减少掉落到工件上的杂质和灰尘等,有利于改善沉积质量。

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