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一种针刺式固晶机

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110750360.3
  • IPC分类号:H01L21/687;H01L33/48
  • 申请日期:
    2021-07-02
  • 申请人:
    深圳市卓兴半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种针刺式固晶机
申请号CN202110750360.3申请日期2021-07-02
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-10-22公开/公告号CN113539935A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;1;L;3;3;/;4;8查看分类表>
申请人深圳市卓兴半导体科技有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区石岩街道应人石社区文川路友晟纸业旁厂房一层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市卓兴半导体科技有限公司当前权利人深圳市卓兴半导体科技有限公司
发明人邓应铖;曾逸
代理机构深圳智汇远见知识产权代理有限公司代理人李俊;王旭
摘要
本发明涉及固晶技术领域,具体涉及一种针刺式固晶机,包括:底座;所述底座的上方通过第一龙门组件设有针刺装置,所述针刺装置具有多个针刺头;晶圆盘,用于承载晶圆,通过第一直线驱动机构活动安装于多个所述针刺头的下方;以及载台,用于承载基板,通过第二直线驱动机构活动安装于所述晶圆盘的下方,以使得任意一个所述针刺头均与所述晶圆内的LED晶片以及所述基板内的固晶点在一条直线上;综上所述,采用本申请的设计一方面可以通过省略吸嘴的结构以降低制造成本以及减少转移步骤,另一方面通过多个针刺头的设计可以实现一次对多个LED晶片进行转移,从而提高转移效率。

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