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大尺寸光栅的制造装置和制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710019314.X
  • IPC分类号:G02B5/18
  • 申请日期:
    2017-01-11
  • 申请人:
    中国科学院上海光学精密机械研究所
著录项信息
专利名称大尺寸光栅的制造装置和制造方法
申请号CN201710019314.X申请日期2017-01-11
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2017-05-31公开/公告号CN106772736A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B5/18IPC分类号G;0;2;B;5;/;1;8查看分类表>
申请人中国科学院上海光学精密机械研究所申请人地址
上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海光学精密机械研究所当前权利人中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人周常河;向显嵩;韦春龙;李民康
代理机构上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)代理人张宁展
摘要
一种大光栅的制造装置和制造方法,该装置包括光源移动模块、基片移动模块和监测控制模块三部分。相比于以往的扫描光束法制造光栅的装置,该装置将光栅基片的二维扫描运动拆分,使用一维精密平移台分别驱动光源和光栅基片,免除了配备二维精密平移台的需求,大大节约了系统成本。该装置构造简单,易于拓展的所制大光栅的面积。结合3轴激光干涉仪定位及闭环调节控制方法,该装置能有效制作出具有高条纹精度和平行度的大光栅。

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