带声学阻抗失配结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201910634090.2
IPC分类号：H03H9/17;H03H9/54
申请日期：
2019-07-15
申请人：
天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司

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专利名称	带声学阻抗失配结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备
申请号	CN201910634090.2	申请日期	2019-07-15
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-17	公开/公告号	CN111030636A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/17 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/15 由压电或电致伸缩材料构成的谐振器的结构特点（H03H 9/25优先）〔3〕 H03H9/17 具有单个谐振器（晶体调谐音叉入H03H 9/21）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;1;7;;;H;0;3;H;9;/;5;4查看分类表>
申请人	天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司	申请人地址	天津市南开区卫津路92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津大学,诺思（天津）微系统有限责任公司	当前权利人	天津大学,诺思（天津）微系统有限责任公司
发明人	张孟伦;庞慰;杨清瑞
代理机构	北京金诚同达律师事务所	代理人	汤雄军

摘要

本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间；和电极支撑部，至少在压电层与顶电极之间形成间隙，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；沿所述顶电极的自由边缘的至少一部分，所述谐振器设置有声学阻抗失配结构。本发明还涉及一种滤波器，以及一种具有该滤波器的电子设备。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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