基板端面研磨装置及研磨判定方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200910149143.8
IPC分类号：--
申请日期：
2009-06-17
申请人：
中村留精密工业株式会社;AvanStrate株式会社

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板端面研磨装置及研磨判定方法
申请号	CN200910149143.8	申请日期	2009-06-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-12-23	公开/公告号	CN101607376
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中村留精密工业株式会社;AvanStrate株式会社	申请人地址	日本石川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中村留精密工业株式会社,AvanStrate株式会社	当前权利人	中村留精密工业株式会社,AvanStrate株式会社
发明人	辰田胜彦;山岸宗司;猪饲修;松冈豊;伊势广教
代理机构	北京戈程知识产权代理有限公司	代理人	程伟

摘要

本发明的目的在于提供一种将研磨轮的磨损槽深度引入修正要素的、可靠性高并适应控制的基板端面研磨装置，以及基板端面的研磨是否良好的判定方法。基板端面研磨装置的特征在于包括：对基板端面进行研磨加工的研磨轮、该研磨轮的旋转驱动组件、以及所述研磨轮的切入送出组件；研磨轮的旋转驱动组件具有：利用基板端面接触的负载电流检测组件、以及通过在研磨轮产生的磨损槽的槽侧面接触于基板而产生的负载电流的修正组件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供