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一种全拆卸式旋转靶用挡板

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721134500.X
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2017-09-06
  • 申请人:
    上海福宜真空设备有限公司
著录项信息
专利名称一种全拆卸式旋转靶用挡板
申请号CN201721134500.X申请日期2017-09-06
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人上海福宜真空设备有限公司申请人地址
上海市嘉定区招贤路778号4幢 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海福宜真空设备有限公司当前权利人上海福宜真空设备有限公司
发明人杨元才;熊凯;朱振东;褚景豫;钱鹏亮
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种全拆卸式旋转靶用挡板,其特征在于,包括外挡板、内挡板、内挡板的驱动部件;外挡板固定在真空腔室上;内挡板设置在外挡板的内部;内挡板的下方设置一内挡板的驱动部件;所述内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关;利用内挡板的驱动部件带动内挡板呈正、反向开关,实现了内挡板在0‑180°的位置进行调整,从而达到了控制靶向装置的靶向的方向、强度,同时避免了在调节和拆卸都需要停机的状况。

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