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用于产生等离子的电源供应器及包括其的等离子设备

发明专利无效专利

申请号：
CN200510007268.9
IPC分类号：H05H1/46;H01J17/49
申请日期：
2005-02-06
申请人：
周星工程股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于产生等离子的电源供应器及包括其的等离子设备
申请号	CN200510007268.9	申请日期	2005-02-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-08-17	公开/公告号	CN1655660
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6;;;H;0;1;J;1;7;/;4;9查看分类表>
申请人	周星工程股份有限公司	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	周星工程股份有限公司	当前权利人	周星工程股份有限公司
发明人	李郑凡
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	王允方;刘国伟

摘要

一种电源供应器，其包括：一个产生射频功率的电源；一个连接到所述电源且匹配所述电源的内阻抗和负载阻抗的阻抗匹配箱；一条连接到所述阻抗匹配箱的第一馈线；一个连接到所述第一馈线的射频分布构件(radiofrequencydistributingmeans)；和一个连接到所述射频分布构件的等离子电极，所述射频分布构件向复数个等离子电极点供应射频功率。

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